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    超高真空系統應用下低溫泵種類

    作為一種抽氣范圍寬的捕集式真空泵,低溫泵常規工作壓力介于10-110-12Pa之間,是獲得清潔超高真空的一種快捷而有效的方法。

    低溫泵能借助擴大冷凍吸附面獲得很大的抽速,在超高、極高真空獲得中經常用,常用的主要如下

    一、冷凝泵。冷凝泵通過低溫表面使中性氣體分子粘附并失去運動能實現束縛。一定溫度下,冷凝泵的吸氣能力幾乎不受限制,只有在冷凝層增厚使表面溫度升高后才會影響吸氣性能,因此在超高真空系統中不易飽和,可以實現很大抽速。但對He、Ne、H2等低三相點的氣體粘附系數小,需要進一步降低冷面溫度。

    二、冷凍吸附泵。冷凍吸附泵通過把吸氣劑冷凍到低溫下,使其吸氣量與吸附氣體的粘著系數增大,這種形式比冷凝泵利用單獨光滑金屬面冷凍到同樣低溫下的吸氣效果更好。如果將整個真空容器內壁做成冷凍吸附泵,可以營造成近似空間分子沉環境。

    三、深冷霜吸附泵,利用較易凝固的氣體冷凍成霜層,利用深冷霜吸氣現象進行吸氣。

    四、催化吸氣泵,利用催化反應原理,把參與氣體中的氫、氧化成水蒸氣。需要和濺射離子泵、冷凍泵等組合使用。如排除氫的催化吸氣泵由一個冷到液氮溫度下的阱和反應器組成:反應器中的高溫錸絲和釔絲上的氫會離解成原子態氫,和氧化亞銅表面作用生成水蒸氣,水蒸氣再由液氮阱捕獲。

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